本文提出了一种利用空间光调制器（SLM）辅助1064nm纳秒激光器制备不同厚度铬（Cr）薄膜上的不同杂化周期结构的有效技术。对于1000nm的Cr薄膜，通过将SLM生成的周期调制光栅（MG）与激光诱导的周期表面结构（LIPSS）相结合，可以制备出规则的双尺度MG-LIPSS，其形态特征受激光通量、有效脉冲数和MG周期控制。由于MG和LIPSS的衍射效应，MG-LIPSS图案表面表现出生动的各向异性

激光加工技术已经渗透到科学研究和工业生产的各个领域中，特别是超快激光加工由于其超短脉冲、极高峰值功率、冷加工等特性已大幅提升了加工质量并拓宽了加工领域。当前超快激光加工已成为精密加工中最为重要的部分，被广泛应用到微孔加工、超表面结构制造、微流体、量子点及电子制造等领域。

超快激光加工技术推动了激光制造从传统的宏加工向超精密加工发展。尽管凭借着强大优势，超快激光加工技术成为3C电子等领域中的新宠，但单焦点的超快激光直写加工技术仍然存在加工区域小、效率低的问题，不能同时满足大幅面和高精度加工需求。